5. 結言

　耐食性・密着性・気密性に優れ、体内で不活性なセラミック膜を対象物表面に均一に成膜できるALDは他の封止技術に比べて優位であり、特に小型化や緻密な付き回り性が必要とされるデバイスであると、ほとんど唯一の選択肢となり得る。インプラントデバイスでは対象者への負担を可能な限り低減するために、理論的に最も薄く成膜できるALDが広く注目を集めている。前項最後に述べたナノラミネートの試験については様々な材料や膜厚の組み合わせが考えられ、今後も非常に有望な選択肢として検討されることは間違いない。詳細については是非、当社へお問い合わせ願いたい。

 

＜参考文献＞

1）高原淳他編（2016）『表面・界面技術ハンドブック−材料創製・分析・　評価の最新技術から先端産業への適用、環境配慮まで』西敏夫監　修、（株）エヌ・ティー・エス

2）田中順三・角田方衛・立石哲也編（2008）『バイオマテリアル−材料　と生体の相互作用』堂山昌男他監修、（株）内田老鶴圃

3）牧野博之他（2012）『半導体LSI技術』共立出版（株）

4）Dennis Fitzpatrick（2016）『インプラント型電子メディカルデ　バイス』中山淑他訳、（株）エヌ・ティー・エス

5）Joonsoo Jeong・Farah Laiwalla, Jihun Lee, Riina Ritasalo, Marko Pudas, Lawrence Larson, Vincent Leung, Arto Nurmikko（2018）
「Conformal Hermetic Sealing of 　Wireless Microelectronic Implantable Chiplets by Multilayered Atomic Layer Deposition（ALD）」
VILEY-VCH. （DOI: 10.1002/adfm.201806440.）

6）Jorge Mario Herrera Morales（2016）「Evaluating biocompatible barrier films as encapsulants of medical micro devices」（HAL archives-ouvertes.fr）
＜https://tel.　archives-ouvertes.fr/tel-01289295/document＞（2018年12月20日アクセス確認）

7）Nanexa AB. 「PharmaShell® is Nanexa’s revolutionary drug delivery system」
＜http://www.nanexa.com/143-2/?lang=en＞（2018年12月20日アクセス確認）

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