2023年12月13日（水）〜15日（金）の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置／材料産業の総合イベントであるSEMICON Japan 2023が開催された。

3日間の展示会の延べ来場者数は、85,282名に上った。

■ 会期：2023年12月13日（水）〜15日（金）

■ 会場：東京ビッグサイト

■ 主催：SEMI

 

■発塵なしのケーブルガイド

　イグス（株）のブースでは、クリーンルームでの使用に最適、様々な技術／製品を紹介していた。

発塵なしのケーブルガイド『e-skin flat SKF』は、コンパクトなクリーンルーム対応エナジーチェーン。個別のケーブルガイドシステムで、密閉型と開閉型の2タイプを2種類の内部高さで用意し、非常にコンパクトな構造を採用。迅速なケーブル収納が可能である他、短くしたり広くしたりすることもできる。柔軟性の高いモジュラ式で、最低注文数量はなし。市販のクリーンケーブルと比較して低コスト、かつ、9dB（A）の静音を実現している。また、ケーブルの交換は必要個所だけでシステム全体を交換せずにすむため、材料を99％節約可能。半導体製造装置向けの製品としてフラウンホーファー研究機構のIPAテストセンターでも試験済みで、設置スペースの狭いクリーンルーム、ショートストローク、ディスプレイなどにも最適な製品となっている。

 

■きわめて薄い2枚のプレートで地震対策

　アイディールブレーン（株）のブースでは、たった2枚のプレートで地震対策となる『μ-Solater』を紹介していた。

本製品は、特殊樹脂コーティング鋼板製の滑走プレートと、曲面エンボス加工ステンレス製のセルシートを組み合わせて使用するもので、厚さがわずか3mmときわめて薄い免震装置。装置単体や特定エリアなど必要な部分だけを免震にすることができる。「必ず機能させるため」シンプルな構造としており、この薄さは「性能に限界を作らない」という目的をもって実現したものであるという。直置きタイプ、OAフロアタイプ、コンクリート打ちタイプに対応。サーバ／データセンターや、医療機関／研究機関、美術館／博物館、倉庫／工場などへの使用に適している。

 

■冷熱衝撃をかけたテストサンプルの化学的／物理的／時間変化を短時間で確認可能

　アールエムテック（株）のブースでは、ハイタオ社製の高速環境温度試験機『ETS-210-10S／310-10S／410-10S』を紹介していた。

5G通信用デバイス、半導体、チップ、センサ、マイクロエレクトロニクスなど幅広い分野での使用に最適な製品で、冷熱衝撃をかけたテストサンプルの化学的／物理的／時間変化を短時間で確認することができ、研究開発及び生産効率の向上に貢献する。DCインバータ制御コンプレッサの採用によって、低騒音（55dB）、省エネを実現している。温度範囲は、『210-10S』が−55〜180℃、『310-10S』が−65℃〜200℃、『410-10S』が−80〜220℃。温度トランジッションはシリーズ共通で、−40℃→＋85℃：10秒、＋85〜−40℃：10秒、となっており、DUT（テストサンプル）に取り付けたセンサにて、温度コントロールが可能である。

 

 

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