■小型部品の搬送、組み立てに最適

　（株）KECは、オリジナル4軸天吊り装置である、小型ハンドラユニット『CHU10』を展示、紹介していた。

対象ワークは電子部品、ICなどの小型部品で、省スペースな製品でありながらも、ワイドな動作エリアを実現。タッチパネルから手軽に動作プログラムを作成することができる。カスタム対応も可能で、運転動作フローは動作コマンドから選択して作成。繰り返し停止精度は、XY（Xθ）±0.05mm、φ±0.05° となっている。

 

■独自の光学技術を用いた高精度測定により、微小な膜厚変動も捕捉可能

　ヒューテックでは、カメラとライン光源を使った「ウエハ全面高速膜厚測定システム」を紹介していた。

測定にあたってはカメラとライン光源を固定設置し、カメラの下をウエハが通過する一瞬で測定を行う。駆動部不要の低パーティクル構造で、全面計測による詳細な状態監視で膜厚異常を検出する製品で、EFEMなどに組み込むことでインライン測定による不良の早期発見が行える。独自の光学技術を用いた高精度測定によって、数nmの微小な膜厚変動も捉えることが可能。また、表示レンジの調整や拡大をすることによって、膜厚のむらをより詳細に確認することができる。今後、膜厚異常を自動で検査する機能も搭載予定であるという。

 

■装置導入後の仕様変更にもスピード対応

　（株）カナメックスでは、ウエットプロセス装置『K』シリーズを紹介。

同製品は新技術、新機能、新ワークへのアップグレードを、簡単、かつ低コストに実現することができる拡張型のウエットプロセッサで、装置導入後の仕様変更にもスピード対応してくれる。小型化による省フットプリントで、レトロフィット接続による将来的な機能強化の容易性を有している（ロボット後付けによる自動化、薬液ライン追加など）。研究開発機から生産機への移行など、拡張性にも優れる。ウエットプロセスの適用例としては、洗浄ではメガソニック、各種ケミカル、2流体、スクラブなど（型式：『KC-200』）、塗布はポジ、ネガ、EB用など各種レジストコーティングや、レジスト供給／回収部など（型式：『KRC-200』）といったように、ユーザーが選ぶことができる。

 

■重さで計測するためレベル管理を正確に行える

　（株）ティアンドティでは、一斗缶やポリタンク、廃液管理に最適な非接触型レベルセンサ『TRCシリーズ』を紹介していた。

同製品は、液面に触れずに置くだけで簡単に計測可能。接液不要のセンサであるため、液の粘性、色、揺れで誤検知することがない。また、アンプの設定が不要なので工数の削減にも貢献する。低コストでありながらも電流出力アンプを内蔵しており、直接シーケンサに入力可能。ゼロ調ができるので、風袋引きも行える。一般的な一斗缶に最適なサイズで200mm角／250mm角から大きさが選べ、薄型でゴム足がついているため安定的である。

 

同展示会の次回開催は、2023年12月13日（水）〜15日（金）の3日間、東京ビッグサイトにて開催される予定。

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