2022年12月14日（水）〜16日（金）の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置／材料産業の総合イベントであるSEMICON Japan 2022が開催された。

　3日間の展示会の総来場者数は、51,480名に上った。

 

■キャリアに挿入された25枚のウエハを、一度にキャリアやボートに移載

　玉川エンジニアリング（株）では、キャリアに挿入された25枚のウエハを、一度にキャリアやボートに移載させることができる装置「ウエハトランスファー」を紹介していた。

操作はすべてタッチパネル方式を採用。メインモニタで直感的な操作が行える（非常停止ボタンを除く）など使い勝手がよい製品。ウエハ保持機構により、異なるウエハ厚さ（250〜650μm)を混在しての搬送が可能で、25秒/回の高スループットを実現している。メンテナンス性も高く、専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモータ、スライダなど汎用品を用いて実現。専用部品を使わないため、故障時の早期復旧が行える他、専用装置と比べて低いイニシャルコストながらも同様の機能を有している。

 

■薄物／厚物に対応した方法で本来の形状を測定、解析

　（株）ニデックでは、斜入射干渉法フラットネステスタを紹介していた。

レーザ光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで種々のサンプルをデジタル計測できる製品で、スライス工程からパターン付きウエハまでの管理に最適。薄物／厚物に対応した方法で本来の形状を測定、解析する。干渉縞、等高線図、Y断面図、サイトガイダンス、鳥瞰図、任意断面図、X断面図、ガイダンスを一つの画面で表示してくれる。『FT-17』は小型卓上タイプの製品で、対応サイズはφ130mm以下（平坦度φ100mm以下）。解析あり／なしを選択することができる。

 

■水道が通っていない場所での衛生管理に最適

　マイクロテック（株）では、水道が通っていない場所での衛生管理に最適な「置くだけ手洗い器」を展示していた。

設置工事や水道管／下水道は不要。12ℓの水と電源だけで200回以上の石鹸手洗いが行える装置で、水冷ポンプによって小型かつ軽量化を実現。逆浸透膜の特性をいかした独自のろ過システムで水を循環させ、蛇口からはつねにきれいな水が出てくる機構を採用しており、定期的にタンクの水と前処理フィルタを交換するだけとメンテナンスも簡単に行える。毎分2ℓの浄水能力を有し、キャスタ付きなので移動も容易。オプションとして、除菌／殺菌が可能な新赤外線LEDや、タンク内を清潔に保つことができる銀イオン加工も用意されている。

 

■小型でありながらもコントローラを内蔵

　（株）アイエイアイでは、きわめて小型でありながらもコントローラを内蔵した「超小型エレシリンダー」のラインアップを展示／紹介していた。

同製品は、速度を低速から高速まで、任意の値で簡単に設定可能。電動なのでエアレスで、コントローラとガイドが内蔵されているオールインワンタイプ。必要な部品がすべて組み込まれているので設計が簡単に行え、500万回往復の長寿命でメンテナンスも容易である。本体のLEDで状態判別ができる他、無線接続で簡単に操作できるなど特徴が多い。ブースでは各種ラインアップを、特性を活かしたデモを交えて紹介。『EC-T3M-10-1-0-CJL』（写真内の①）はテーブルタイプ、『EC-GDB3L-10-1-0-CJR』（写真内の③）はロッドタイプで、さらにスライダタイプの製品も用意されている。

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