ボッシュ・レックスロス（株）では、マグネット式リニア搬送システム「フレキシブル トランスポート システム（FTS）」を、デモを交えて紹介していた（写真5）。

　同システムは、搬送キャリア（パレットなど）には動力源がなく、永久磁石を取り付けるだけで真空エリアやクリーンルーム、またガスなどが充満しているエリア、高温やケミカルエリア内における部品搬送を、高加速／高速移動および、極低速移動で実現。

　また正確な位置決めなどのプロセスを必要とする搬送動作を個別のキャリアごとに設定できる。

写真5　ボッシュ・レックスロス（株）のブース

 

　シンフォニア テクノロジー（株）では、『N2 EFEM』を紹介していた（写真6）。

　同製品は、高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現。

　100ppm 以下の酸素濃度を100LPM以下のN2ガス消費量で維持するN2ガス循環システムを採用している。

　微差圧の自動制御は10Paゲージ+/−3.5。

　従来のEFEMと変わらないフットプリントで、既存標準EFEMとの置き換えができ、据え置き型アームロボットにより、最大4LPにアクセス。

　従来型のEFEMと同様、側面にメンテナンス窓を用意している（追加オプションにより、サイドポジションの使用が可能）。

写真6　シンフォニア テクノロジー（株）のブース

　（株）エリオニクスでは、ECRイオンビームにより微細加工が行える小型ECRイオンシャワー装置『EIS-200ERP』を紹介していた（写真7）。

　同製品はコンパクトかつ高性能。

　タッチパネルを採用したPCを搭載し、プロセス制御可能。イージーオペレーションを実現し、再現性の向上にも寄与する。

　また、Ar、Xeなどの不活性ガスに加え、O2やC3F8、CHF3などの活性ガスでも安定したプラズマが生成可能。

　ニュートライザを備え、石英ガラスなど絶縁物のエッチングも行える。

（写真7）　小型ECRイオンシャワー装置『EIS-200ERP』

　同展示会の次回開催は、2019年12月11日（水）～13日（金）の3日間、東京ビッグサイトにて開催される予定。

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