2018年12月12日（水）～14日（金）の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置／材料産業の総合イベントであるSEMICON JAPAN2018が、SEMI の主催によって開催された。

　3日間の展示会の総来場者数は、52,865名に上った。

　Akribis Systems Japan（株）のブースでは、低コイル質量であるため高速で広域周波数に対応するボイスコイルモータ『AVM』シリーズ、『AVA』シリーズを紹介していた（写真1）。

　同社では、標準ボイスコイルモータを豊富にラインアップしている。『AVM／AVM-H』シリーズは円筒形、2端子のダイレクトドライブモータで、ストロークは3～30mmまで、コギングなし。

　『AVA』シリーズは平板型、2端子のダイレクトドライブモータ。コンパクト設計でリニアステージに適合し、コギングなしの製品である。

写真1　Akribis Systems Japanのブース

　
　（株）ティアンドティでは、漏水、漏油、漏液などを迅速、確実、安全に管理できる漏液センサを紹介していた（写真2）。

　『TFP-F』シリーズは、オールテフロン製で、センサ本部は電気使用なし。光ファイバなので、防爆エリア、可燃性液体で使用できる。

　『TFP-T』シリーズもテフロン製で、センサ厚みが10mmと薄型であるため狭い場所でも取り付けでき、高耐薬性、薬液でも安心して使用可能。

　ホルダ外れ検知機能を搭載している。

　また『LUP』シリーズは材質としてポリプロピレンを使用。

　水検知に最適なローコストタイプで、アンプを内蔵しているため購入してすぐに取り付けすることができる。

写真2　漏液センサの展示

 

　（株）工苑では、Nanomotion 社の超音波モータ『SEモータ』を紹介していた（写真3）。

　同製品は32Nの駆動力で500mm/secの最高速度を実現。

　Nanomotion社の従来『HRモータ』と比較して2倍の速度と同じ駆動力を提供しながら、消費電力は半分となっている。

　高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、より効率的な駆動コアを組み込んだ拡張モータ構造に墓づき設計されており、その他に、①高真空アプリケーション、②サブナノメートルの位置決め精度、③優れたエネルギー変換効率、④幅広い動的な速度範囲、⑤ゼロバックラッシュと高い剛性、⑥電力なしでの静止保持力、などの特徴を有している。

写真3　SEモータの展示

 

　ナプソン（株）では、非接触式低効率／シート抵抗測定器『NC-80MAP』を展示していた（写真4）。

　同製品は最大3本の非接触プローブによるフルレンジ測定器で、高精度測定、および2D／3Dマッピング表示を備えたデータ管理機能を有し、0.1％以下の高い再現性を実現。測定範囲は、以下のプローブタイプから、搭載プローブ数を指定できる（Low：0.001～0.5Ω、Middle：0.3 ～15Ω、High：10 ～3200Ω）。

　測定対象はウエハサンプルはシリコンベア、化合物、エピ、拡散層、SiCなどで、各種薄膜サンプルは半導体プロセス膜、メタル膜、ITO膜など、その他、原則として測定レンジ内であればどんなサンプルでも測定可能。

　対象サイズ：2～8インチ、156mm□、厚さ：300～1500μm、となっている。

写真4　非接触式低効率／シート抵抗測定器『NC-80MAP』

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