さらに、手軽に高精度測定を実現する測定機として非接触表面性状測定装置『PF-60』を開発致しました（写真4）。この製品は、従来の測定速度の50倍の高速測定を可能にするスキャンAF機能を搭載しております。60mm角の広範囲をサブµmレベルの測定精度で高速に測定することを実現致しました。国際規格（ISO）に準拠した、断面・面領域の粗さ／形状評価ソフトウェア『MitakaMap』を標準搭載し、卓上での運用が可能（設置サイズ：400×400mm、装置重量：31kg）な小型モデルです。断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に適しています。
　また、非接触高精度形状測定を加工機／製造ライン上で実現するレーザプローブユニット『MP-3』を開発致しました（写真5）。この製品は、加工機やインライン装置に組み込み、従来別行程で行われていた形状測定を加工機上で行います。超精密加工の精度向上や品質管理の合理化に大きく貢献しております。主な特徴として、小型レーザプローブユニット、非接触測定のためワークを傷つけない、0.01µmの分解能で10mm範囲をダイレクトに測定、金属／ガラス／セラミック／プラスチックなどあらゆるワークの測定が可能、といった内容が挙げられます。

　写真4 非接触表面性状測定装置『PF-60』

 

写真5 レーザプローブユニット『MP-3』

　そのほかにも、半導体関連分野や超精密加工分野で注目される優れた測定／評価装置をラインアップしております。

 

 

 

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