搭載機能をVUV平行光によるパターニング機能に限定することで、導入しやすいコストを実現した親水化パターニング装置。特徴は、①露光性能は同社従来機（SUS740）のままにシンプルな装置構成、②機能限定により導入しやすいコストを実現し、将来的なバージョンアップも可能、③手元で調整可能な着脱式ステージによりマスクとサンプルの扱いやすさが向上、④新規フレキシブルデバイス開発における材料研究やプロセス開発を加速、など。