同社が培ってきた固体光源の設計技術をベースに、従来の水銀ランプと同等の照度を達成したLED光源搭載ウエハ向け一括投影露光装置。特徴は、①一括投影露光：マスクダメージレス 高生産性120WPH以上、②深い焦点深度：3D表面形状への露光、厚膜レジスト露光、③自動化対応：インライン、オフライン、OHT／AGV対応、など。