4インチまでのウエハにウォーミングアップなしで露光するKLOE社製の小型UV-LED露光装置。特徴は、①発散角を2°以下に抑えたコリメート光により最小露光サイズ2μm幅、②完全な単色波長、③コールドUV照射、④簡単タッチパネル操作、⑤長寿命LED（＞10000時間）、用途に合わせたの3機種ラインアップ（UV-KUB1ソフトコンタクト、UV-KUB2プロキシミティ／ソフトコンタクト、UV-KUB3アラインメント機能）、など。