単色全面露光、線幅10nm以下のUV LED 露光装置。

特徴は、
①コールドUV露光、
②リアルタイム温度コントロール、
③強照度露光、
④長寿命LED：10,000時間以上、
⑤ウォーミングアップ時間不要、
⑥使いやすいタッチパネル操作、
など。

主な仕様は、
露光方式：コンタクト、プロキシミティ、
ウエハサイズ：4インチ、解像度：2μm、
露光波長：365nm±5nm/385nm±5nm、
照度：25mW/cm2±10％（4インチウエハ）、
分離中の加熱：＜1℃、
サイクル記録回数：10、
寸法：幅260×奥行き260×高さ260mm、
重量：8.2kg、
など。