本体サイズ□80mmのXY位置補正ステージ。特徴は、①X軸、Y軸に内蔵されたカムを回すことで高速位置補正を実現、②ステージ下にモータを配置することで小...

高速の高精度ポジショニングが必要な用途に適した超音波ピエゾモータ内蔵コンパクトXYステージ。特徴は、①軽量で省スペース、②センサ分解能：10nm、③電...

医療産業／レーザ切断／スキャニング／バイオテクノロジ／計測学／AOI（自動光学検査）／顕微鏡検査などの分野に好適な高精度開口部付きXYステージ。特徴は...

高精度な位置決めが可能なリニアモータXY軸ステージ。特徴は、①トラベルレンジ：205×205mm（8インチ）、②インクリメンタルリニアエンコーダ（分解...

顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたピエゾモータXY軸ステージ。特徴は、①内蔵のクローズドループピエゾモータ駆動により、100...

顕微鏡と組み合わせて、高精度で高速な自動画像観察システムを生産するために最適なXY2軸の薄型XYステージ。特徴は、①XYの2軸駆動を、モータと駆動系を...

簡易型の手動XYステージ。特徴は、①フラット面のステージにXY方向に目盛が付いているので、移動量が一目で分かる、②商品を簡易に固定ができるフックが左右...

コントローラとジョイスティックを付属する、ピエゾモータ顕微鏡用XY軸ステージ。特徴は、①0.1μmの分解能、②最大135×85mmのトラベルレンジ、③...

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なXY軸大型エアベアリングステージ。特徴は、①クリーンルームに対応、②カスタマイズ可能、③最大移動量：5...

解像度顕微鏡法、ティルティング、自動化された走査顕微鏡法向けピエゾモータ顕微鏡用XY軸ステージ。特徴は、①静止時にセルフロック、低ノイズ、熱負荷が低く...

内蔵のクローズドループピエゾモータ駆動により、100mm/秒の高速化を実現したピエゾモータXY軸ステージ。特徴は、①ストローク：25×25mm、②分解...

高剛性／高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適な高剛性／精密型自動ステージ。特徴は、①レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみ...

精密切削におけるナノマイクロ加工を実現するピエゾステージ。特徴は、①工具の切り込みやワーク（加工物）の移動を高速／高精度に位置制御できる、②密閉構造で...

簡易型のXY手動ステージ。特徴は、①フラット面のステージにXY方向に目盛を付けているので、移動量が一目で分かる、②商品を簡易に固定ができるフックを左右...

スタック型XYステージの代わりとなる低プロファイル設計、高精度のXY軸小型エアベアリングステージ。特徴は、①アイアンレスのリニアモータを採用し、コギン...

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なXY軸大型エアベアリングステージ。特徴は、①クリーンルームに対応、②カスタマイズ可能、③最大移動量：5...

ピエゾアクチュエータを内蔵し、オープンループ振れ角3mradを発生する2軸チルトステージ。 特徴は、 ①θx／θyの2軸駆動、 ②ミリ秒の高速応答と高...