高速の高精度ポジショニングが必要な用途に適した超音波ピエゾモータ内蔵コンパクトXYステージ。特徴は、①軽量で省スペース、②センサ分解能：10nm、③電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステージの位置が機械的に安定するように維持され、電力消費と発熱量が大幅に削減、④エンコーダにより軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより信頼性と再現性の高いモーションが可能、⑤低ノイズオペレーション、など。