照射エリアはそのままに、さらなる解像力アップと重ね合わせ精度の向上を実現したICパッケージ基板向け露光装置。特徴は、①従来の250mm角の照射エリアお...

搭載機能をVUV平行光によるパターニング機能に限定することで、導入しやすいコストを実現した親水化パターニング装置。特徴は、①露光性能は同社従来機（SU...

4インチまでのウエハにウォーミングアップなしで露光するKLOE社製の小型UV-LED露光装置。特徴は、①発散角を2°以下に抑えたコリメート光により最小...

独自のソルダーファストテクノロジーを搭載し、様々な高難易度の露光が行えるソルダマスク用高スループットダイレクトイメージング装置。特徴は、①2段テーブル...

マルチプルパターニングに対応した7nmノードプロセスの半導体量産用露光装置。特徴は、①『バーズアイ・コントロール』／『ストリームアライメント』／『モジ...

内蔵の真空機能により基板とフィルムを固定し、両面から露光が行なえる高精度な真空両面露光機。 特徴は、 ①タイマ内蔵なので好みの時間を設定し露光が可能、...

単色全面露光、線幅10nm以下のUV LED 露光装置。 特徴は、 ①コールドUV露光、 ②リアルタイム温度コントロール、 ③強照度露光、 ④長寿命L...