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2023.08.07ICパッケージ基板向け露光装置
照射エリアはそのままに、さらなる解像力アップと重ね合わせ精度の向上を実現したICパッケージ基板向け露光装置。特徴は、①従来の250mm角の照射エリアお...
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2022.11.22親水化パターニング装置
搭載機能をVUV平行光によるパターニング機能に限定することで、導入しやすいコストを実現した親水化パターニング装置。特徴は、①露光性能は同社従来機(SU...
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2022.10.19小型UV-LED露光装置
4インチまでのウエハにウォーミングアップなしで露光するKLOE社製の小型UV-LED露光装置。特徴は、①発散角を2°以下に抑えたコリメート光により最小...
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2022.10.03ソルダマスク用高スループットダイレクトイメージング装置
独自のソルダーファストテクノロジーを搭載し、様々な高難易度の露光が行えるソルダマスク用高スループットダイレクトイメージング装置。特徴は、①2段テーブル...
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2022.07.04半導体量産用露光装置
マルチプルパターニングに対応した7nmノードプロセスの半導体量産用露光装置。特徴は、①『バーズアイ・コントロール』/『ストリームアライメント』/『モジ...
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2021.01.21真空両面露光機
内蔵の真空機能により基板とフィルムを固定し、両面から露光が行なえる高精度な真空両面露光機。 特徴は、 ①タイマ内蔵なので好みの時間を設定し露光が可能、...
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2021.01.21UV LED露光装置
単色全面露光、線幅10nm以下のUV LED 露光装置。 特徴は、 ①コールドUV露光、 ②リアルタイム温度コントロール、 ③強照度露光、 ④長寿命L...
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独自の加工技術とノウハウで様々な材料にチャレンジ 〜色々なアイデアを生み出して研究者をサポート〜 ムソー工業株式会社 代表取締役 尾針 徹治 氏Gichoビジネスコミュニケーションズ株式会社
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SEMICON Japan 2023 2023年12月13日(水)〜15日(金)の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置/材料産業の総合イベントであるSEMICON Japan 2023が開催された。Gichoビジネスコミュニケーションズ株式会社