スタック型XYステージの代わりとなる低プロファイル設計、高精度のXY軸小型エアベアリングステージ。特徴は、①アイアンレスのリニアモータを採用し、コギングや引力のない滑らかな運動を実現、②スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適、③クリーンルームに対応、④カスタマイズ可能、⑤最大移動長さ：200×200mm、⑥最大負荷荷重：15kg、⑦非接触完全プリロード空気ベアリング、⑧最大分解能：1nm、⑨最大速度：1m/秒、など。