スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なXY軸大型エアベアリングステージ。特徴は、①クリーンルームに対応、②カスタマイズ可能、③最大移動量：500×1000mm、④最大負荷荷重：15kg、⑤非接触完全プリロードエアベリング、⑥最大分解能：1nm、⑦最大速度：1m/秒、⑧最大加速度：1g、⑨直線性／平面性最大：0.25μm、⑩アクティブヨー制御＆誤差補償、⑪動的マッピングにより、ほぼ「レーザ」パフォーマンスを達成、など。