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注目製品
2022.12.13
X線ウエハバンプ自動検査装置
Six-3000

ウエハ上のバンプを自動で検査、判定するX線自動検査装置。特徴は、①ウエハ内部のボイドを、X線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径(面積)を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査する、②X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度ポイント検査が可能、③検査内容は、バンプ直径、ボイド率、ボイド径、バンプ形状、④クリーンルーム対応、など。

会社名
(株)アイビット 
所在地
川崎市高津区坂戸3-2-1