測定器レベルの高精度測定が可能な3D SPI検査装置。特徴は、①03015チップ部品の最速検査を実現（03015チップ部品は7μm分解能）、②従来機比2倍の検査速度と正確な03015部品の繰り返し測定値を提供、③自己診断機断能機を搭載し、最適な装置状態を維持、④定期的に装置の重要項目を自動チェック、⑤2D／3D照明の状態、PZTモータの状態、高さ精度とXY位置精度の状態をチェック、⑥装置が正常な状態を維持できるように問題発生時にはオペレータヘ事前に通知、⑦リアルタイムモニタリングのSPCチャートで、リアルタイムマルチライン管理のための分析データを提供、など。