医療産業／レーザ切断／スキャニング／バイオテクノロジ／計測学／AOI（自動光学検査）／顕微鏡検査などの分野に好適な高精度開口部付きXYステージ。特徴は、①移動範囲：102×102mm（4インチ）、②150×150mmの大きな開口部、③一方向再現性：0.1μm、④速度：500mm/秒、⑤三相リニアモータ、⑥高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ内蔵、⑦センサ信号：Sin/cos、1Vpeak-peak、20μm signal period、⑧耐荷重：100N、など。