高精度開口部付きXYステージ
V-738
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医療産業/レーザ切断/スキャニング/バイオテクノロジ/計測学/AOI(自動光学検査)/顕微鏡検査などの分野に好適な高精度開口部付きXYステージ。特徴は、①移動範囲:102×102mm(4インチ)、②150×150mmの大きな開口部、③一方向再現性:0.1μm、④速度:500mm/秒、⑤三相リニアモータ、⑥高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ内蔵、⑦センサ信号:Sin/cos、1Vpeak-peak、20μm signal period、⑧耐荷重:100N、など。
- 会社名
- ピーアイ・ジャパン(株)
- 所在地
- 川崎市幸区堀川町580
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