抵抗率／平坦度（厚さ）／PN判定をすべて非接触で測定する非接触式シート抵抗／抵抗率測定システム。特徴は、①抵抗率は渦電流法、平坦度は静電容量法を採用、②測定後、設定した規格値に合わせてソーティングが可能、③カセット数は要望によりいくつでも対応可能、④温度計、温度補正機能付き（シリコンウエハ用）、⑤抵抗率測定レンジ：0.00075〜225Ω・cm、⑥平坦度測定レンジ：225〜1225μm SEMIスタンダードウエハに準拠、など。