自動車部品やスマートフォン製造プロセスにおける接着／封止工程の前処理用として、172nm真空紫外光（エキシマ光）照射によって部品のドライ洗浄や親水化、接着性を向上させる小型エキシマ照射装置。特徴は、①インライン評価や既存生産ラインへの追加設置が容易、②FPD市場で培った高出力光源を採用し、少ないランプ数での処理を実現、③機能の最適化により、小型化／軽量化を実現、④環境にやさしい水銀フリー光源、など。