安全かつ高信頼性で生産可能なIMTEC社製サファイア基板ウェットエッチング用石英バス。特徴は、①タンクの接液部はすべて高純度の石英で構成、②凝縮コイル、自動開閉蓋も石英で製作、③IMTEC社独自技術のAquasealによりフランジ部の温度上昇を防ぎ、石英からシール剤への熱伝導を抑制、④エア駆動式の石英製アスピレータにより、高温の薬品を効率よく廃液可能、⑤Halar製ハウジングにより高耐熱性、耐薬品性をもつ、など。