フォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置。特徴は、①A3サイズの設置面積を実現し、設置場所に困らない卓上型、②マスクアライナなど追加の露光機は不要、③フローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要、真空吸着用エア源内蔵を実現、④圧縮エアや冷却水も不要、⑤AC100V電源で動作、⑥機能の絞り込みによる低コスト化を実現、⑦露光エリア：□25mm、最小露光線幅：3μm、⑧ユーザーフレンドリな操作性を追求、など。