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注目製品
2022.07.19
ポジショナ
ECSシリーズ

光学機器や手動ステージとの組み付け用途として、高精度のピエゾ駆動技術を組み込み、剛性が高くコストを意識した設計のポジショナ。特徴は、①標準仕様が0〜100℃で使用でき、大気圧からUHVの真空範囲用途に応じたオプションが設定可能、②クロスローラベアリング採用で、直動タイプの耐荷重は数kg以上、ピッチング/ヨーイング/ローリングのガイドスペックは0.1mrad以下を実現、③移動量50mm内でステップ送り50nmが可能、など。

会社名
シグマ光機(株)
所在地
東京都墨田区緑1-19-9