顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたピエゾモータXY軸ステージ。特徴は、①内蔵のクローズドループピエゾモータ駆動により、100mm/秒の高速化を実現、②ストローク：25×25mm、③分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵、④コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm、⑤センタ開口部：78×78mm、⑥静止時に自動ロック、⑦PIピエゾナノポジショニング／スキャニングステージに適合、など。