4色のLED光源と独自技術を採用したエリプソメータ。特徴は、①ナノレベルの薄膜や多層膜も分光エリプソ解析、②真空チャンバに搭載してin situ測定が可能、③複雑なソフトウエア設定やメンテナンスは不要、④低コスト、かつコンパクト化を実現、⑤独自のMWE技術（Multi-Wavelength Ellipsometer）は、可視光スペクトルを分離してサンプリングすることで複雑化することなく低コストできわめて薄い膜の膜厚を高精度に計測することを実現する技術、など。