エキシマレーザ微細加工装置
MicroMaster
小型から大型エキシマレーザまで対応したリアルタイムモニタ付きのオプテックス社製の装置。特徴は、①樹脂、エラストマー材から導雷薄膜の除去/パターニングなどに対応、②高品質、非加熱加工、③高い柔軟性でセッティングも簡単、④最小加工サイズ<5μm、⑤縮小投影加工 縮小倍率:4〜20倍、⑥高位置決め精度:<±5μm、⑦高倍率/低倍率同軸モニタ機構、⑧装置寸法:W1010×D1570×H1500mm、⑨主な用途は、各種ノズル、精密フィルタ、マイクロ流路、光導波路、マイクロレンズ、マイクロ金型、カテーテル、ポリマステント、極細ケーブル、極細ピン被膜除去、など。
- 会社名
- ビーム(株)
- 所在地
- 東京都町田市小山ヶ丘2-2-5
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