フレクシャガイドナノポジショニングシステム
P-611.1ピエゾステージ

ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。
特徴は、
①設置面積:44×44mmというコンパクト設計、
②ストローク:120×120μm、
③分解能:0.2μm、
④低コストの機構/電子システム構成、
⑤摩擦のない精密フレクシャガイドシステム、
⑥PICMAピエゾアクチュエータによる長寿命、
⑦X、Z及びXYZバージョンを用意、
⑧アプリケーション例は、光ファイバ位置決め、半導体試験、マイクロ機械加工、マイクロマニピュレーション、MEMS試験/製造、フォトニクス/集積光学、
など。
- 会社名
- ピーアイ・ジャパン(株)
- 所在地
- 川崎市幸区堀川町580

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