治具不要で高精度な基板検査を実現する基板検査装置。特徴は、①高精度DC／AC測定システムを搭載し、微小なインピーダンスやキャパシタンスまで測定可能、②独自の4ヘッド＆6フライングプローブシステムで、接触が難しいポイントにもアプローチ可能、③同社独自開発の支援ソフトウエアにより、ODB++や各社CADフォーマット、マウントデータから検査プログラムを自動生成し、誰でも扱いやすい操作性と幅広い検査用途に対応、④画像検査（AOI）機能を標準搭載、など。