CNC画像測定機に白色光干渉計を搭載して、WLI光学系で取得した3Dデータから3次元表面性状解析／3次元粗さ解析が可能な白色光干渉計搭載画像測定機。特徴は、①微細形状の断面寸法や表面粗さはWLI光学系で、位置特定や寸法測定は画像測定機能を、シームレスに切り替えながら自動測定が行える、②1視野では測定対象エリアをカバーできない場合は、複数視野画像を連結することも可能、③測定範囲：300×200×190〜600×650×220mm、など。