従来ラインアップに比べ中空径を340mmに広げ、12インチウエハを中空径に通すことができる薄型大中空径ダイレクトドライブモータ。特徴は、①薄さ30mm、②薄型かつ中空径にケーブルやエア配管を通せることで、装置メーカーにおけるステージの設計や組み立て工数を圧縮可能、③ギアなし、ゼロバックラッシ、④高分解能で優れた位置決め精度、⑤独自の磁気回路設計により高トルク、⑥同社製高剛性クロスローラベアリングを内蔵、など。