半導体製造装置への組み込みに最適な、シリコンフリーのビーム型ロードセル。特徴は、①シリコンを含まないロバーバル型のロードセルで、シリコンウエハ周辺での用途に考慮し、塩素ガスの発生しないテフロンシースケーブルを使用している、②使用例としては、ウエハ搬送ロボットの把持力管理、ウエハの研磨時の押し圧管理、チップマウンタの荷重制御、ワイヤボンディング時の押し圧管理、気体／液体／ゼリーなどの粘着力測定、など。