現行モデル『3Xi-M110』の高精細画像検査品質はそのままに、サイクルタイムをさらに50％削減して同社従来比2倍速を実現した基板検査用インライン3D X線自動検査装置。特徴は、①主要機能である高精細画像検査や高難易度検査にも対応する不良検出力を『3Xi-M110』より継承、②オペレータの負担を軽減する操作性や、高い保守性とメンテナンス性も維持し、高い検査品質とスピード性能を両立、③基板1枚あたりの消費電力を40％削減、など。