流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したコンパクト超音波流量モニタ。特徴は、①流量計測の安定性が向上、②ストレート管路のため、圧力損失がほとんどなく、ラインの圧力低下を軽減、③時間分解能の向上と信号処理の高速化により、従来品と比較して低流量域で計測の安定度が向上、④検出器と変換器を一体構造にし、省スペース化を実現、など。