トップ／ボトム両面同時検査が可能な3D AOI基板外観検査装置。特徴は、①トップカメラとボトムヘッドカメラを搭載し両面同時検査が可能であるため、従来製品と比較してタイムロスを低減、②フルパフォーマンス／フルスピード検査が可能な新設計ボトムヘッドカメラを採用、③駆動軸は、コンベアの移動なしにX/Y方向で、カメラヘッドのみ移動させ、非常に高速かつ精密で安定的な検査プラットフォームを提供、など。