高速2D/3D AOI装置
Xceed MICRO
半導体パッケージングエ程で必要とされるすべての検査に最適化された精密、高速な2D/3D AOI装置。特徴は、①既存の検査機が提供する2D検査をより精密に検査、②高度に集束されたレーザシートビームを利用し、3D検査する(高さ、角度、浮き、体積)、③部品上とサブストレート(ウエハ、リードフレーム、PCBなど)上の異物、汚れ、および反り検査を同時に行える、④同社独自の2D&3Dvisionセンサー(TRSC)は2チャネルのレーザシートビームを利用して3Dデータを作り、3チャネルのRGB LED照明を利用して2Dカラー映像を取得、一度のスキャンですべての検査が完了する、など。
- 会社名
- パーミジャパン(株)
- 所在地
- 東京都中央区日本橋箱崎町36-2

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