3D測定のための8-way projectionを適用し、影効果によるエラーを最小化させ、すべてのFOVエリアで100％2D＆3D検査を同時に行えるためFalse caIlを非常に減らしながらも高い検出力を確保した3D AOI基板検査装置。特徴は、①モアレ測定法を採用し、高性能を実現、②8-Way Proiection＋2段照明、③2Dアルゴリズムと3Dアルゴリズムの同時検査、④Telecentric Lensの採用によって精密度と検出力が上昇、⑤高性能PCを採用：高速CPUおよび高速Graphic processor、⑥使いやすいUIおよび簡単なプログラミング、⑦ライブラリ、およびライブラリ管理機能提供、⑧デバッグの時間最小化、など。