ナノスケールのエッチング／成膜／リフトオフが可能な小型ECRイオンシャワー装置。特徴は、①タッチパネルを採用したPCを搭載し、プロセス制御が可能、②イージーオペレーションを実現し、再現性の向上にも寄与、③Ar／Xeなどの不活性ガスに加え、O₂／C₃F₈／CHF₃などの活性ガスでも安定したプラズマが生成可能、④ニュートラライザを備え、石英ガラスなど絶縁物のエッチングも可能、⑤幅広い拡張性を実現、など。