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注目製品
2022.10.19
小型UV-LED露光装置
UV-KUBシリーズ

4インチまでのウエハにウォーミングアップなしで露光するKLOE社製の小型UV-LED露光装置。特徴は、①発散角を2°以下に抑えたコリメート光により最小露光サイズ2μm幅、②完全な単色波長、③コールドUV照射、④簡単タッチパネル操作、⑤長寿命LED(>10000時間)、用途に合わせたの3機種ラインアップ(UV-KUB1ソフトコンタクト、UV-KUB2プロキシミティ/ソフトコンタクト、UV-KUB3アラインメント機能)、など。

会社名
ビーム(株) 
所在地
東京都町田市小山ヶ丘2-2-5