マルチプルパターニングに対応した7nmノードプロセスの半導体量産用露光装置。特徴は、①『バーズアイ・コントロール』／『ストリームアライメント』／『モジュラスクエアード・ストラクチャー』を搭載したストリームラインプラットフォームを採用、②新型投影レンズ、アライメントシステムのマーク検出／計測能力の強化によりMMO 2.3nm以下、スループット270枚/時以上（96shots）（オプション対応）の生産性を実現、など。