微細な電子部品から実装基板まであらゆる場面で活用できるナノフォーカスX線顕微検査装置。特徴は、①0.4〜3μm分解能切り替え式開放管X線源搭載、②高速テーブルの移動と画像処理の標準搭載により、半自動検査装置としても使用可能、③複数のサンプルを短時間で自動検査し、結果ファイルを出力可能、④高分解能で明るい線源により従来比約4倍の高輝度、⑤線源載せ替え可能、⑥モニタ倍率7200倍、幾何倍率1200倍の高倍率、など。