レーザ光源と3次元計測カメラにより、170mm四方の範囲でサブミクロンの高低変位が検出可能な表面形状検査装置。

特徴は、
①特殊レーザ光源でサブミクロンの凹み／反り／うねり／段差測定が可能、
②表面高さ情報と同時に通常のカメラ同様の輝度画像の活用も可能、
③金属やセラミック、高機能フィルムの段差計測や特殊印刷物の膜厚について高さ情報で合否判定ができる、
④エッジを含むパネル素材表面欠陥の検査に対応、
など。