内蔵のクローズドループピエゾモータ駆動により、100mm/秒の高速化を実現したピエゾモータXY軸ステージ。特徴は、①ストローク：25×25mm、②分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵、③断面高さ32mm、設置面積170×170mmのコンパクトな設計、④センタ開口部：78×78mm、⑤静止時に自動ロック、⑥PIピエゾナノポジショニング／スキャニングステージに適合、⑦最大5gまで高加速、⑧摩耗がなくメンテナンスフリー、など。