光の取り出し効率を向上させることで同社従来製品比5倍の高照度を実現しながら60％のダウンサイジングを実現したエキシマ光照射ユニット。特徴は、①従来と同...

自動車部品やスマートフォン製造プロセスにおける接着／封止工程の前処理用として、172nm真空紫外光（エキシマ光）照射によって部品のドライ洗浄や親水化、...

赤外線から紫外線までの幅広い波長（300〜1000nm）の照射で電子部品接着時の硬化時間短縮を実現したブロード波長照射装置。特徴は、①従来比1/3の硬...