小型光学系（3.5mm以下）の評価／検査用の小型高速波面センサ。特徴は、①用途を小型光学系に限定したことにより、低コストを実現、②製造現場での調整、評...

干渉計では困難な波面収差を瞬時に計測するShack-Hartmann方式の波面センサ。特徴は、①Zernike多項式（最大36項）、Seidel収差係...

干渉計では困難な波面収差を瞬時に計測するShack-Hartmann方式の波面センサ。特徴は、①Zernike多項式（最大36項）、Seidel収差係...