ガス混合物の熱伝導率の変化を測定することで空気中の水素濃度を検出するMEMS熱伝導水素センサ。特徴は、①相対湿度センサと気圧センサを内蔵、②湿度と気圧...

混合ガスの熱伝導率の変化を測定して空気中の水素濃度を検出するMEMS熱伝導水素センサ。特徴は、①2つの熱伝導率ダイを作動構成で使用し、優れたS/N比を...

低濃度域での検知能力の課題を克服したMEMS熱伝導型水素センサ。特徴は、①長寿命、高耐久性を実現、②同社独自の湿度補正技術をもちいて、湿度存在下でも水...