φ4インチ対応、タッチパネル式、フロントローディング式の真空プロセス高速加熱炉。特徴は、①加熱エリア上面、下面にIR（赤外）方式のヒータを装備し、最大...

卓上サイズながら、最大到達温度1000℃（オプション装備時は、1200℃）を実現可能なフロントローディング式高真空対応卓上型高速加熱アニール炉。特徴は...

φ150mm（6インチ）ウエハ対応のフロントローディング式真空プロセス高速加熱炉。特徴は、①卓上型サイズながら、最大到達温度1000℃を実現、②窒素ガ...

加熱エリア上面、下面にIR（赤外）方式のヒータを装備し、最大到達温度1000℃、最高35K/sec.の高速昇温が可能なトップローディング式真空プロセス...