クリーン環境下で、清浄度を確保しながら使用できるクリーン精密位置決めテーブル。特徴は、①軽量／低断面／コンパクトな『TE』をベースに、テーブル内部の密...

可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み光学式リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブル。特徴は、①軽量な可動テ...

同社メカトロシリーズの中で極めて小型なシリーズに、高性能な新ACサーボモータ仕様を新規設定したマイクロ精密位置決めテーブル。特徴は、①高分解能のACサ...