フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能な液中パーティクルセンサ。特徴は、①多点監視システムに接続可能、②最小可測粒径：0.1μm（...

0.1μmが測定可能な信頼性の高い液中パーティクルセンサ。特徴は、①高計数効率による、少ないサンプル量で測定可能、②最小可測粒径0.1μm、③定格流量...

無菌医薬品製造区域のモニタリングに最適な多点監視用パーティクルセンサ。特徴は、①ISO 2150I-4（JIS B 9921）適合、②粒径区分（2段階...

半導体ラインの材料ガスをそのまま測定することができる光散乱方式パーティクルセンサ。特徴は、①粒子検出部にフローセルをもちいた流路部を採用し、リーク量を...

薬液中の0.03μm粒子を測定できるフッ化水素酸対応液中パーティクルセンサ。特徴は、①最小可測粒径0.03μm、②任意に粒径区分を設定可能（0.03〜...

センサ多点モニタリングシステムの構築に最適な多点監視用パーティクルセンサ。特徴は、①小型、軽量であるためプロセス装置内の発塵モニタに適する、②粒径区分...

アイソレータ内の浮遊粒子を測定／管理し、0.5／5μmの粒子をリアルタイムでモニタリングするパーティクルセンサ。特徴は、①接ガス部は、滅菌のための過酸...

波長780nm、定格出力35mWの半導体レーザを光源に採用した光散乱方式多点監視用パーティクルセンサ。 特徴は、 ①定格流量2.83L/分、 ②粒径区...

常時監視システム、自動運転システムの構築が可能な多点監視用パーティクルセンサ。特徴は、①ISO 21501-4（JIS B 9921）適合、②粒径区分...